企业简介
中国电子科技集团公司第四十五研究所（简称四十五所）是国内从事电子专用设备技术、整机系统和应用工艺研究开发与生产制造的专业化科研生产单位，以机器视觉技术、运动控制技术、精密零部件制造与优化技术、物料传输系统技术、精密运动工作台系统技术、专项工艺研究
中国电子科技集团公司第四十五研究所的专利信息
| 序号 | 公布号 | 发明名称 | 公布日期 | 摘要 |
| 1 | CN106077959A | 一种用于GPP晶圆底部对准的激光划片方式 | 2016.11.09 | 本发明公开了一种用于GPP晶圆底部对准的激光划片方式，激光划片装置包括：X向底座，X向底座上固定有下 |
| 2 | CN101339915A | 键合机紧凑式上下料供料机构 | 2009.01.07 | 本发明涉及一种键合机紧凑式上下料供料机构，该机构适用于金属引线键合机，特别适合于半导体器件的生产设备 |
| 3 | CN100592491C | 键合机紧凑式上下料供料机构 | 2010.02.24 | 本发明涉及一种键合机紧凑式上下料供料机构，该机构适用于金属引线键合机，特别适合于半导体器件的生产设备 |
| 4 | CN101339656A | 全自动引线键合机图像处理系统的图像处理方法 | 2009.01.07 | 本发明涉及一种全自动引线键合机图像处理系统的图像处理方法。本方法的具体步骤如下：(1)对采集的图像进 |
| 5 | CN101377568A | 全自动LED引线键合机的双光路成像系统 | 2009.03.04 | 本发明涉及一种全自动LED引线键合机的双光路成像系统，属于光学系统技术领域，它包括光源、物镜、高、低 |
| 6 | CN101221920A | 晶片吸附机构 | 2008.07.16 | 一种晶片吸附机构，在安装盘与基盘之间置有调整底板，其底面边缘对称分布有抬起槽，其侧边均匀开有紧固螺孔 |
| 7 | CN101220929A | 精密线光源照明装置 | 2008.07.16 | 一种精密线光源照明装置，由光纤线光源和对应光线的透镜组成照明光路，光纤线光源支撑在支座上，透镜镶在镜 |
| 8 | CN100585272C | 线光源照明装置 | 2010.01.27 | 一种线光源照明装置，由光纤线光源和对应光线的透镜组成照明光路，光纤线光源支撑在支座上，透镜镶在镜框内 |
| 9 | CN201393156Y | 键合头Z向电机 | 2010.01.27 | 本实用新型涉及一种键合头Z向电机，其技术要点是：所述动子由扇形线圈与保持架绝缘固定连接构成，左定子和 |
| 10 | CN101644934A | 单线切割机切割线恒张力闭环控制方法 | 2010.02.10 | 本发明涉及一种单线切割机切割线恒张力闭环控制方法，其控制方式是固定一个线轮的控制方式为速度控制方式， |
| 11 | CN201259887Y | 丢失芯片的检测装置 | 2009.06.17 | 本实用新型涉及一种丢失芯片的检测装置，本实用新型包括拾片头座、管接头、焊臂、吸头和真空管路，所说吸头 |
| 12 | CN105870045A | 晶圆搬运装置及使用方法 | 2016.08.17 | 本发明公开了晶圆搬运装置及使用方法，该装置包括基板，水平设置在基板上的横轴，竖直设置在横轴上的纵轴， |
| 13 | CN101220836A | 精密机械轴承与空气静压轴承联合轴系 | 2008.07.16 | 一种精密机械轴承与空气静压轴承联合轴系，主轴为阶梯轴形状，从下至上顺序套有传动盘、连接套和调整锁套， |
| 14 | CN105945716A | 抛光头进给加压抛光方法、控制器及进给加压机构 | 2016.09.21 | 本发明涉及一种抛光头进给加压抛光方法、控制器及进给加压机构，方法包括加压单元控制气缸加压使气缸杆伸长 |
| 15 | CN201186440Y | 多关节机器人直驱电机驱动装置 | 2009.01.28 | 一种多关节机器人直驱电机驱动装置，旋转轴为贯穿传动直驱电机和旋转直驱电机中心的空心轴，传动直驱电机与 |
| 16 | CN103065012B | 一种晶圆Map显示模型的创建方法及其使用方法 | 2016.08.24 | 一种晶圆Map显示模型的创建方法及其使用方法，先创建一动态链接库WaferMapDll，新建一基于C |
| 17 | CN103295940B | 一种金属膜剥离清洗设备的自动补液系统 | 2016.12.28 | 本发明涉及一种金属膜剥离清洗设备的自动补液系统，包括NMP浸泡槽以及分别与真空负压异补液装置、氮气正 |
| 18 | CN103364485B | 基于超声扫描设备的多探头位置标定方法、扫描方法 | 2016.12.28 | 本发明涉及一种基于超声扫描设备的多探头位置标定方法，该方法首先在设备载物台上刻画一与设备XY向电机坐 |
| 19 | CN102135731B | 接近接触式光刻机对准工作台找平机构 | 2016.12.14 | 本发明提供了接近接触式光刻机对准工作台找平机构，涉及接近接触式光刻机设备技术领域。在连接板上圆周上设 |
| 20 | CN103887222B | 一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置 | 2017.04.19 | 一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，包括有底座和设置在底座上的用于夹持晶圆的前夹、后夹， |
| 21 | CN104317034B | f‑theta光学镜头 | 2017.04.19 | 本发明提出了一种f‑theta光学镜头，包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透 |
| 22 | CN103049424B | 一种晶粒分块扫描方法 | 2017.04.19 | 本发明公开了一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤：将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；从指定的扫描起 |
| 23 | CN103063185B | 单点确定晶圆测试范围的方法 | 2017.04.19 | 本发明公开了一种单点确定晶圆测试范围的方法，包括以下步骤：计算晶圆Map分布图上启测点晶粒的理论Ma |
| 24 | CN103325723B | 一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置 | 2017.02.15 | 本发明涉及半导体晶圆片加工过程对晶圆片传递的技术，具体是一种晶圆片传递装置，该装置主要包括：升降电机 |
| 25 | CN103322950B | 基于超声波的边缘检测方法 | 2017.02.08 | 本发明涉及一种基于超声波的边缘检测方法，所述方法包括：步骤11：将换能器置于待测器件上方，启动所述换 |
| 26 | CN104238285B | 可动态调焦的激光直写式光刻系统 | 2017.02.08 | 本发明提出了一种可动态调焦的激光直写式光刻系统，包括：用于产生激光光束的紫外激光器、沿激光光束传输方 |
| 27 | CN103801823B | 晶片对准定位装置及方法 | 2017.01.18 | 本发明涉及一种晶片对准定位装置及方法，包括依次设置的摄像头、半反半透镜、聚焦物镜、晶片工装及工作台， |
| 28 | CN103879132B | 手动或半自动工作台三维调整装置 | 2017.01.11 | 一种手动或半自动工作台三维调整装置，由Z向、X向、Y向、θ角四个调节机构和一个锁紧机构构成。它合理地 |
| 29 | CN103807463B | 强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀 | 2017.01.04 | 一种强腐蚀性高温化学液的稀释排放阀，由气动阀体、置换阀体和阀芯三部分构成。置换阀体上设有废液进口、冷 |
| 30 | CN103506940B | 化学机械抛光晶圆承载器 | 2017.01.04 | 一种化学机械抛光晶圆承载器，采用上球面轴承、下球面轴承、上联轴节、下联轴节、固定在集流盘上的支撑柱以 |
| 31 | CN106142371A | 一种多线切割设备排线自适应装置 | 2016.11.23 | 本发明涉及一种多线切割设备排线自适应装置，包括支座和导轮，所述导轮上设置有导轮槽，所述导轮槽连接有切 |
| 32 | CN106115612A | 一种晶圆平坦化方法 | 2016.11.16 | 本发明公开了一种晶圆平坦化方法，晶圆为大尺寸图形芯片，包括微电子机械系统器件（MEMS）的晶圆，其表 |
| 33 | CN106122697A | 相机多维度支撑调整装置及其调整方法 | 2016.11.16 | 本发明提出了一种相机多维度支撑调整装置及其调整方法，所述装置包括：用于固定相机的相机固定及旋转机构、 |
| 34 | CN106041773A | 一种方形双面夹具 | 2016.10.26 | 本发明公开了一种方形双面夹具，其包括下支板，基板，导轨，夹紧机构及辅助定位机构；基板设置在下支板的上 |
| 35 | CN106024674A | 一种冲洗甩干设备的多工位转架装置及清洗晶片的方法 | 2016.10.12 | 一种冲洗甩干设备的多工位转架装置及清洗晶片的方法，其中转架装置包括有水平设置的转架底板，位于转架底板 |
| 36 | CN105965380A | 用于晶片表面金属薄膜抛光过程的电涡流测量装置 | 2016.09.28 | 本发明涉及一种用于晶片表面金属薄膜抛光过程的电涡流测量装置。该测量装置由FPGA器件控制的D/A转换 |
| 37 | CN105957821A | 一种晶圆刷洗摆臂装置 | 2016.09.21 | 本发明公开了一种晶圆刷洗摆臂装置，其包括基座，摆臂，盘刷，升降机构及摆动机构，基座包括底板，底板上的 |
| 38 | CN105922466A | 一种多线切割料摆装置 | 2016.09.07 | 本发明公开了一种多线切割料摆装置，其包括上板、下板，上板固定在多线切割设备的基座上，下板的下部固定有 |
| 39 | CN105929801A | 半导体加工工艺参数智能控制方法 | 2016.09.07 | 本发明公开了半导体加工工艺参数智能控制方法，具体包括以下步骤：S1，扫描待加工件，获知其厚度及工作台 |
| 40 | CN103353481B | 超声扫描显微镜的观测窗以及观测窗的使用方法 | 2016.08.24 | 一种超声扫描显微镜的观测窗以及观测窗的使用方法，包括固定在机架上的上台板和带有天窗的上罩。上台板上还 |
| 41 | CN103594406B | 自定心定位卡盘及半导体晶圆的定心定位方法 | 2016.08.24 | 一种自定心定位卡盘及半导体晶圆的定心定位方法，所述自定心定位卡盘包括托盘、定位组件、吸附组件和卡盘外 |
| 42 | CN102637624B | 用于夹持平板式基板的可调式夹具 | 2016.08.24 | 本发明涉及一种用于夹持平板式基板的可调式夹具。本发明包括底座，其特征在于所述的底座内横向方向放置有的 |
| 43 | CN103353048B | 透射式探头夹紧结构及分离式双透射式探头夹紧结构 | 2016.08.24 | 本发明涉及一种透射式探头夹紧结构及分离式双透射式探头夹紧结构，包括：基座及固定于其上透射式发射探头夹 |
| 44 | CN103586987B | 温控轴辊 | 2016.08.24 | 一种温控轴辊，包括位于中心的轴、连接于轴两端的支撑体和位于轴外周的辊，其特征在于：所述轴为空心轴，轴 |
| 45 | CN103294081B | 一种多线切割机的轴辊温度智能PID控制系统及控制方法 | 2016.08.24 | 本发明属于温度控制系统技术领域，公开了一种多线切割机的轴辊温度智能PID控制系统的控制方法。所述多线 |
| 46 | CN103290393B | 一种膜带连续单面化学镀装置及其方法 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种膜带连续单面化学镀装置及其方法，该装置由阻流搅拌辊（3）、承载平台（4）、导入辊（6 |
| 47 | CN103337565B | 一种用于LED芯片侧壁腐蚀工艺的高温强酸槽 | 2016.08.24 | 本发明公开了一种用于LED芯片侧壁腐蚀工艺的高温强酸槽,该高温强酸槽是由石英缸(9)、陶瓷加热器（8 |
| 48 | CN103353049B | 超声扫描探头的夹紧结构及应用其的探头夹紧方法 | 2016.08.24 | 本发明涉及一种超声扫描探头的夹紧结构及应用其的探头夹紧方法，包括：定夹块，定夹块通过第一枢轴连接有动 |
| 49 | CN104001704B | 旋转冲洗设备专用多工位转架 | 2016.08.17 | 一种旋转冲洗设备专用多工位转架，包括前、后盘，前、后盘之间通过三组内、外侧左支杆和内、外侧右支杆以及 |
| 50 | CN103398735B | 印刷机用CCD调节装置 | 2016.08.10 | 一种印刷机用CCD调节装置，改进的高刚性的固定支架上安装两套由X向调节锁紧机构、Y向调节锁紧机构以及 |
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